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在精密机械加工过程中会有用许多设备，下面列举了一些常用的机械设备：如线切割、放电加工机、深孔放电加工机、CNC光学投影研磨、工具磨床、NC无芯磨床、平面磨床、内径外径研磨、精密平面磨床、精密成形磨床、大水磨、NC铣床、磨床、加工中心、PVD镀钛机、激光焊接机、炭化水素清洗机、筒式研磨机、真空热处理炉等等。
精密和超精密加工时现代机械加工制造技术的一个重要组成部分，是衡量一个***高科技制造业水平高低的重要指标之一。20世纪60年代以来，随着计算机及信息技术的发展，对制造技术提出了更高的要求，不仅要求获得极高的尺寸、形位精度，而且要求获得极高的表面质量。正是在这样的市场需求下，超精密加工技术得到了迅速的发展，各种工艺、新方法不断涌现。CNC技术、材料技术、激光技术以及CAD技术等现代的科技成果，是现代***机械加工技术的重要组成部分。
。 手工或机械抛光 手工或机械抛光是用涂有磨膏的抛光器，在一定的压力下，与工件表面做相对运动，以实现对工件表面的光整加工。加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05μm，可用于平面、柱面、曲面及模具型腔的抛光加工。手工抛光的加工效果与操作者的熟练程度有关。 超声波抛光 超声波抛光是利用工具端面做超声振动，通过磨料悬浮液对硬脆材料进行光整加工，超声抛光 设备简单，操作、维修方便，工具可用较软的材料制作，而且不需作复杂的运动，主要用来加工硬脆材料，如不导电的非金属材料，当加工导电的硬质金属材料时，生产率较低。